클리닝가스, 삼불화질소 - 반도체 디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스 NF3 시장(한국어판)/야노경제연구소

(일본시장보고서)반도체 디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스 NF3 시장(한국어판)
A4 17p / 2020년 5월 8일 발간(Yano E-plus 2019년 1월호 게재내용 발췌)
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게재내용

1. 반도체ㆍ디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스
  1-1. 반도체ㆍ디스플레이 제조 공정에서의 CVD 이용 상황
(표1) LPCVD와 PECVD의 특징
(그림1) PECVD 장치의 구조
  1-2. 반도체ㆍ디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스의 정의
2. 반도체ㆍ디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스의 종류
  2-1. 삼불화질소(NF3)
(그림2) NF3의 구조
  2-2, 불소(F2)
3. 반도체ㆍ디스플레이 제조 CVD 장치용 클리닝가스 NF3의 용도 분야
  3-1. 반도체(반도체 시장의 기술 동향과 NF3 가스의 수요 관계)
3-2. 디스플레이(디스플레이 시장의 기술 동향과 NF3 가스의 수요 관계)
3-3. 태양전지
4. 반도체 및 디스플레이의 시장규모 추이와 예측(세계 시장)
  4-1. 반도체 시장규모 추이와 예측(세계시장)
   (1) 메모리 반도체(DRAM, NANDDRA 플래시)의 시장규모 추이와 예측(세계 시장)
(그림ㆍ표1) 메모리 반도체(DRAM, NAND 플래시)의 세계 시장규모 추이와 예측(금액: 2016~2021년 예측)
   (2) 파운드리의 세계 시장규모 추이와 예측(세계 시장)
(그림ㆍ표2) 파운드리의 세계 시장규모 추이와 예측(금액: 2016~2021년 예측)
  4-2. 디스플레이 시장규모 추이와 예측(세계 시장)
   (1) 액정ㆍOLED의 시장규모 추이와 예측(세계 시장)
(그림ㆍ표3) 액정ㆍOLED의 세계 시장규모 추이와 예측(금액: 2016~2021년 예측)
5. NF3 가스 관련 시장규모 추이와 예측
5-1. NF3 가스의 시장규모 추이와 예측
(그림ㆍ표4) NF3 가스의 세계 시장규모 추이와 예측(수량: 2016~2021년 예측)
5-2. NF3 가스의 메이커 점유율
(그림ㆍ표5) NF3 가스의 주요 메이커의 출하수량 및 점유율(수량: 2017~2018년 전망)
6. NF3 가스의 주요 메이커 생산능력 및 제법
  6-1. NF3 가스의 주요 메이커 생산능력 및 제법
    (그림ㆍ표6) NF3 가스의 주요 메이커의 생산능력(수량: 2018년)
  6-2. NF3 가스의 제법
    (표2) NF3 가스의 주요 메이커의 양산제법 계열
7. NF3 관련 기업ㆍ단체의 대응 동향
7-1. SK머티리얼즈 주식회사
(표3) SK머티리얼즈 ECF법 및 DF법에 관한 특허
7-2. 주식회사 효성화학
(표4) 효성화학 ECF계 제법에 관한 특허
7-3. Kanto Denka Kogyo 주식회사
(표5) Kanto Denka Kogyo DF계 제법에 관한 특허
7-4. Versum Materials, Inc.(구.Air Products & Chemicals)
(표6) Versum Materials DF계 제법에 관한 특허