포토리소그래피, 반도체, 회로 - 포토리소그래피 시장 요약보고서 / 야노경제연구소

<Concise Report> 포토리소그래피 시장 (일본어판)

자료코드 : R56201202 /2014년 11월 19일 발행/ B5 23p/ PDF로만 제공


●포토리소그래피 시장
~이전부터 한계에 이르고 있다고 여겨지면서도 계속 연명하고 있는 포토리소그래피 기술의 최신 동향!~
　　

1. 포토리소그래피란

2. 포토리소그래피의 발전 경위

3. 포토리소그래피 프로세스와 최신 기술
　　【표 1. 포토리소그래피 프로세스의 개략】
　　【그림 1. 포토리소그래피에 의해 웨이퍼 위에 형성된 전형적인 회로패턴 사진】
　3-1. 포토리소그래피에 이용되는 광원
　　【표 2. 반도체의 미세화와 노광 광원】
　　【그림 2. EUV 노광 장치의 전형적인 모식도】
　　【그림 3. 전자선 노광법의 전형적인 프로세스 모식도】
　　【그림 4. SR광을 이용한 X선 노광 장치의 모식도】
　3-2. 액침 노광 기술
　　【그림 5. 액침 노광 기술의 원리를 나타낸 모식도】
　　【그림 6. 액정용 포토리소그래피 노광 장치의 외관 사진】

4. 포토리소그래피 노광 장치의 시장규모 추이와 예측
　　【도•표 1. 포토리소그래피 노광 장치의 일본 시장규모 추이와 예측(수량•금액：2010-2015년 예측)】
　　【도•표 2. 포토리소그래피 노광 장치의 WW 시장규모 추이와 예측(수량•금액：2010-2015년 예측)】
　　【도•표 3. 포토리소그래피 노광 장치의 광원별 WW 시장규모 추이와 예측(금액：2010-2015년 예측)】
　　【도•표 4. 포토리소그래피 노광 장치의 수요분야별 WW 시장규모 추이와 예측 (금액：2010-2015년 예측)】

5. 포토리소그래피 노광 장치의 기업 점유율
　　【도•표 5. 포토리소그래피 노광 장치의 WW시장 기업 점유율(2012년：전체)】
　　【도•표 6. 포토리소그래피 노광 장치의 분야별 WW시장 기업 점유율(2012년：반도체)】
　　【도•표 7. 포토리소그래피 노광 장치의 분야별 WW시장 기업 점유율(2012년：액정)】

6. 포토리소그래피의 주요 기업•단체 동향
　6-1. 오사카대학 산업과학연구소
　6-2. 캐논 주식회사
　6-3. 주식회사 니콘
　6-4. ASML홀딩(네덜란드)

7. 포토리소그래피의 장래 전망